型号/规格

Regulus 8100

购置时间

简介

1. Regulus8100冷场发射扫描电镜配备加速电压减速功能，优秀的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达0.8nm，15kV达到0.7nm，高低电压均可满足高分辨的观察；
2. 日立E×B技术，无需喷镀，可直接观测不导电样品；
3. 配备电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能；
4. SE与BSE任意比例搭配功能；

5.超高分辨观察性能：色差小的冷场发射电子枪 (0.2eV左右，色差越小分辨率越高)，半内透镜物镜，保证分辨率1.0nm(加速电压15kV)、 1.3nm(着陆电压1.0kV）。

指标参数

 1、二次电子图象分辨率0.8   nm@15kV

 2、加速电压0.5～30 kV(减速着陆电压0.1～2   kV)

 3、放大倍数20～1,000,000

4、仪器种类 场发射

主要应用

日立高分辨冷场发射扫描电镜Regulus8100应用领域： 

1、纳米材料； 

2、半导体器件； 

3、高分子材料； 

4、生物医学； 

5、新能源。

样品要求

   扫描样品请自行按照扫描电镜的样品准备

1、如测固体样品，最好用乙醇分散滴涂于基底表面，挥发至完全干后再测。

2、液体样品可以直接涂于基底表面，挥发至完全干后再测。

3、不测带磁性的样品，包括Fe、Co、Ni等

放置地点

第一实验楼125房间

负责人及联系方式

曹玮  13505321160