型号/规格

Axis Supra

购置时间

2019.05.20

简介

主要用来表征材料表面元素及其化学状态。功能包括：表面定性与定量分析；维持10um以下的空间分辨率元素成分包括化学态的深度分析；线扫描或面扫描以得到线或面上的元素或化学态分布；成像功能；可进行深度分析适合：纳米薄膜材料，微电子材料，催化剂，高分子材料的表面和界面研究；可进行半导体UPS测试。

指标参数

1、单色化X光源，最大功率600W，Al单色XPS指标（Ag 3d5/2峰，半高全宽@灵敏度）；Ag单色XPS指标（Ag 3d5/2峰，半高全宽@灵敏度）。

2、静电传输透镜：能量扫描范围：-10-3200eV(XPS)/0-65 eV(UPS)；最小扫描能量步长3.125   meV(XPS)/1 meV(UPS)。

3、荷电中和器：与静电传输透镜同轴的超低能单电子源，避免对粗糙表面（如粉末样品）荷电中和时产生荷电阴影。

4、检测器：多通道板（MCP）堆栈作为电子倍增器，双层128物理通道的二维阵列延迟检测器（DLD），可满足XPS采谱和成像XPS、微区XPS、深度剖析XPS、动态XPS的测试需求。

5、UPS不间断电源，型号规格为FD-8315L，含隔离变压器，输出电压230W，满足持续运行2小时。

6、循环冷却系统：规格型号为BLK   2，制冷功率2000W。

主要应用

主要用来表征材料表面元素及其化学状态。

样品要求

1、样品外形尺寸及物性

(1)导体、半导体和绝缘体均可以测试。

(2)片状及块状样品厚度一般在   1mm 以下，长宽约为 3mm。

(3)粉末样品需研磨成细粉状。

(4)如果样品形状特殊，应事先告知，以便商量合宜的制样方法。

2、样品用量

(1) 粉末状样品一般在   15-20mg 左右。

(1)片状和块状样品，需要送样人将样品加工成上下两面互为平行面。

3、注明样品号，尽可能注明样品组成，是否导电及测试要求；样品尽量多一些，以供测试备用所需。

不能被测试的样品种类

1.具有放射性和腐蚀性的样品。

2.真空中会释放大量气体，尤其释放的气体具有腐蚀性的样品，比如可以释放出酸性气体，若含有高挥发性分子，请务必先自行烘烤抽除。

3.挥发性和易升华物质（如单质 Na, K, S, P, Zn, Se, As, I, Te,   Hg 和有机挥发物）。

4.有化学毒性和生物毒性的样品。

5.氢、氦元素不能测试。

放置地点

青岛科技大学四方校区化学化工（CCE）大楼103室

负责人及联系方式

李彬：17561915689