（一）主机硬件和性能 1、光学系统：3D测量激光显微镜配备的两套光学系统: 激光共焦光学系统和彩色成像光学系统。 2、总放大倍率：108X～17280X 3、视场直径：16um ～ 5120um 4、高度测量 显示分辨率:0.5nm 可重复性:20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm 精度：0.15um+L/100um（L为测量长度） 拼接图像精度：10X：5+L/100um，20Xor higher：1+L/100um（L为拼接高度） 5、宽度测量 显示分辨率：1nm 可重复性：20x : 0.05μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm 精度：测量值+/-1.5% 拼接图像精度：10X:24+0.5Lum，20X:15+0.5Lum，50X:9+0.5Lum，100X:7+0.5Lum（L为拼接宽度单位为mm） 6、电动载物台： 平台尺寸：100*100mm, 载重量可达3kg。 移动行程：100*100 mm的超声波马达电动载物台，无步进电机马达电动载物台的丝杠热膨胀现象和移动噪音。 7、最大样品高度：100mm。 8、物镜转盘：可同时安装不少于6个物镜，物镜转换由电动马达控制，并通过显微镜操作软件实现物镜转换。 9、物镜：原厂同品牌物镜，针对405纳米波长设计的专用LEXT物镜，能够准确测量样品整个区域。即使边缘部位也可实现无失真的重现。 10、扫描图像分辨率：标准模式分辨率1024*1024和超高清模式分辨率4096*4096。 11、自动功能：AF自动对焦、激光强度调整、一键自动采集。 12、电动功能：电动控制物镜转换（防止触碰样品造成观察点移动；优化测量环境；保证机械稳定性）、电动控制载物台的移动定位等功能。 13、观察模式：同时具有激光共聚焦、激光共聚焦微分干涉、白光明场和白光微分干涉四种观察模式。 14、主机机身：配有采用螺旋弹簧和阻尼橡胶组成的减振装置来稳定操作环境，不需要专业防震平台。 15、自动采集：OLS5000显微镜具有自动数据采集功能，无需设置光检测灵敏度和数据采集范围，生疏的用户也可以获得准确的检测结果。 16、扫描速度：该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度，从而缩短您的扫描时间，简化您的工作流程，最终实现生产力的提升。 17、控制计算机：随激光共聚焦扫描显微镜整体出口的原厂配套的计算机，操作系统为Microsoft Windows7 64位版，内存不小于8GB，独立显存不小于1GB，硬盘容量不小于1TB，24英寸(1920X1200) 液晶显示器。 （二）软件功能： 1、软件可进行图像采集和分析测量、输出报告。 2、具有数字图像处理功能，可以实现边缘增强、对比增强、滤波、剖面校正等功能。 3、软件测量模块功能包括： （1）剖面轮廓线测量：任意两点的距离、高度、长度，线宽，截面积，剖面夹角，曲率； （2）几何尺寸测量：可以测量图像上任意的几何尺寸，例如点到点距离、平行线距离、多点折线长度、圆心距、交线夹角、圆、弧等； （3）面积和体积测量：可以测量样品表面深孔或者凸台的投影面积、表面积和体积； （4）粗糙度测量：可以测量样品表面的线粗糙度（ISO4287参数）和面粗糙度（ISO25178参数）； 可进行表面（斜面、曲面）校准。 （5）拼图功能：最多可以实现625幅标准图像的三维拼图，一个方向最长可拼100张。 （6）可兼容金相分析功能，其中金相分析软件与显微镜为同一品牌，结合标准（如截点法晶粒度，ISO 643: 2012, JIS G 0551: 2013, JIS G 0552: 1998, ASTM E 112:2012, DIN 50601: 1985, GOST 5639:1982, GB/T 6394: 2002），完成铸铁分析、截点法、面积法晶粒度分析、相分析。 |
