型号/规格

Phenom prox

购置时间

2017.10

简介

样品表面形貌快速检测，能谱分析

指标参数

1 显微基本指标

1.1 光学放大倍率：大于100倍

1.2 电子放大：≥130,000倍

1.3 电子光学分辨率：≤10nm

2 照明系统指标

2.1 电子光学照明：CeB₆灯丝

2.2 电子枪灯丝寿命：单根灯丝寿命≥1500小时

2.3 电子枪加速电压： 5kV-15kV可调

3 探测器系统

3.1 光学探测器类型：内部集成彩色光学显微镜

3.2 电子光学探测器类型：高灵敏四分割背散射电子探测器

3.3 X射线能谱探测器类型：硅漂移（SDD）探测器类型，可实现微区定向分析，包含点、线、面扫描方式

3.4 能谱探测器冷却方式：无液氮消耗，采用半导体Peltier 效应制冷

3.5 元素探测范围：B（5）-Am（95）

3.6 能谱探测器能量分辨率：<137eV（Mn Kα)

3.7 集成能谱EDS（能谱探头集成在电镜主机内）

4 真空系统

4.1载样抽真空时间：小于15秒

5 自动样品台系统

5.1 样品台移动方式：软件控制的马达驱动，通过鼠标点击目标区域后，样品台自动移动至目标区域画面居中，可实现电镜图像即点即得功能

5.2 XY坐标定位：通过在保存的图片中记录该位置的XY坐标信息，选中保存的图片，即可一键还原到原来的位置，并同时还原当时调节好的参数

6操作软件和图像处理系统

6.1 观察模式：全面模式(形貌和成份)、形貌模式A（3D）、形貌模式B（3D）

6.2 全景图像拼合功能：可自动连续扫描指定大小区域，每分钟可采集超过100张1024x1024分辨率的图像，最大分辨率达1亿像素，所的图像自动拼合为一副全景图像

6.3 能谱拟合功能：可自动或手动进行元素谱峰识别，并可利用可视化峰剥离技术验证重叠峰识别的正确性。

主要应用

主用于表征高分子材料、金属材料、无机非金属材料等材料的微观形貌，可广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、食品药品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。

样品要求

样品需为干燥固体，但磁性材料除外；

放置地点

第二实验楼308

负责人及联系方式

马莉莉：15092087783